삼불화질소
1. 용도
- CVD 클리닝제 및 반도체의 에칭제, 로케트의 추진연료로 사용
2. 제법
- 불소(F2)와 암모니아(NH3)를 반응시켜 제조
- 불소(F2)와 암모늄염을 반응시켜 제조
- 암모니아의 불화물을 직접 전기분해하여 제조
3. 기타
- 삼불화질소 제조시에 통상 사불화탄소(CF4)가 발생된다
- 삼불화질소와 사불화탄소의 비점은 각각 -129도 및 -128도로 비점 차가 겨우 1도 밖에 차이가 안나고
그 분자경 및 극성도 거의 유사하기 때문에 일반적인 증류분리 내지는 흡착분리로 분리하기가 매우
어려웠음
4. 삼불화질소와 사불화탄소의 분리
- 소디프신소재(구 대백신소재)의 특허
: 35내지 45 atm의 압력조건 하에서 탈기조를 사용하여 분리하며 불황성가스(예, 헬륜(He)이나
질소(N2)) 가스를 소량 공급하여 분리한다.
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