사업검토/태양전지 79

세미머티리얼즈, 모노실란으로 폴리실리콘 제조

- 세미머티리얼즈가 모노실란을 이용, 세계에서 2번재로 폴리실리콘을 제조 - 모노실란을 이용한 CVD 리액터 개발 - TCS 방식은 1000도까지 온도를 올려야 폴리실리콘을 제조 - 모노실란을 이용하면 600 - 900도의 온도에서 가능 - 온도가 낮아 전력소모량이 기존 60-150KWh의 절반 수준으로 낮출 수 있음 - 모노..