에피 웨이퍼

에피택셜 웨이퍼(Epitaxial Wafer)는 기존 실리콘웨이퍼 위에 화학증착법을 이용해 또다른 단결정막을 성장시킨 것을 말하는 것으로 에피웨이퍼라고도 한다.

에피웨이퍼는 표면결함이 적고 전기적 특성이 우수해 향후 고부가가치 비메모리 제품과 64MD램 이상의 고집적 메모리 제조에 확대 채용될 것으로 기대되는 차세대 웨이퍼이다.

에피웨이퍼는 기존 실리콘웨이퍼 제품보다 수율 면에서 약 10% 정도 우수하므로 국내 반도체산업의 경쟁력 제고를 위해서는 이와 같은 핵심재료의 국산화가 필수적이다.