- 건식 식각기 : 이온화된 가스를 뿜어 LCD에 불필요한 막을 깍아 내는 장치
- 화학증착기 : 가스를 이온으로 만들어 화학반응을 통해 막을 입히는 장치
- 트랙장비 : 세정과 코팅, 현상을 순차적으로 진행할 수 있게 하는 장비
- 물리증착기 : 이온을 타깃에 충돌시켜 물리적 방법으로 막을 입히는 장비
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