실란가스의 열분해 MS : SiH4 → Si + 2H2 MCS : SiH3Cl → Si + 2HCl + 0.5H2 DCS : SiH2Cl2 → Si + 2HCl TCS : SiHCl3 + H2 → Si + 3HCl - DCS, TCS 사용의 단점은 반응에서 염화수소가 생성되고, 이는 내식성 재료의 사용을 필요로 한다 - 염화수소 존재의 장점은 염화수소가 증착된 규소의 불순물과 반응하여 당해 규소를 오염으로부터 보호할 수 있.. 사업검토/가스 2009.05.08