삼불화질소, NF3, Nitrogen Trifluoride 효성 특허 - 삼불화질소 가스 제조시 포함되어 있는 불순물 중 N2O와 CO2 가스를 동시에 효과적으로 제거하는 기술 - 알루니늄나이트레이트(AL(NO3)3)와 붕산(H3BO3)의 혼합물을 침전제인 암모니아수 용액으로 처리하여 알루미나-알루니늄 보레이트를 흡착제로 제조하여 컬럼 등에 충전하여 그 충전층에 불.. 사업검토/가스 2009.01.15
삼불화질소, NF3 삼불화질소 1. 용도 - CVD 클리닝제 및 반도체의 에칭제, 로케트의 추진연료로 사용 2. 제법 - 불소(F2)와 암모니아(NH3)를 반응시켜 제조 - 불소(F2)와 암모늄염을 반응시켜 제조 - 암모니아의 불화물을 직접 전기분해하여 제조 3. 기타 - 삼불화질소 제조시에 통상 사불화탄소(CF4)가 발생된다 - 삼불화질소와.. 사업검토/가스 2009.01.15